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张善文 研究员
研究员,光学博士,博士生导师,主要从事衍射光栅及其应用研究。《光学精密工程》编委,中国光学学会全息与光信息处理专业委员会委员,中科院青年创新促进会会员,吉林省留学生联谊会创业投资分会副会长。作为“大光栅”团队核心人员期间,随团队研制出纳米精度大型衍射光栅刻划机、世界最大尺寸中阶梯光栅(400mm×500mm)和8000线/mm光栅,该研究成果入选“中科院改革开放四十周年40项标志性重大科技成果”。 任职国家光栅中心副主任期间,带领团队研制的光栅应用于“DUV光刻机”、“天问一号”火星表面成份探...
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