邓辉博士，南方科技大学机械与能源工程系长聘副教授（研究员），博士生导师。邓辉博士担任深圳市半导体专用设备工程研究中心主任、华为-南方科技大学超精密制造与测量创新实验室主任、南方科技大学等离子体先进制造实验室负责人。邓辉课题组致力于可实现原子尺度材料可控去除的超精密制造技术研究，研究方向聚焦于两点：其一、以原子尺度物理化学反应为核心技术手段，探究非破坏式原子级材料去除新原理，实现微观尺度的原子级精度制造；其二、以数控加工算法为基础，研究加工过程的量化控制与预测等关键技术问题，实现宏观尺度的原子级精...