教授，博士生导师。作为项目负责人承担了国家“纳米研究”重大研究计划（973）项目、基金委“纳米制造的基础研究”重大研究计划重点项目、科技部国际合作专项等10 余项重大、重点项目。被聘为国家基金委学科评审组成员、“973”评审专家、国家奖评审专家。长期以突破光学衍射极限这一重大科学问题为核心，发展超越衍射极限的激光直写与无掩模投影及其相结合的激光纳米光刻新原理、新技术、新装备，在激光直写加工与无掩模投影光刻分辨率方面保持世界领先水平；发展了具有自主知识产权的低成本、高效率新型纳米光刻技术，拥有10...