博士、硕士研究生导师。深圳大学机电与控制工程学院副教授、半导体制造研究院执行院长，主要从事离子束/电子束微纳加工、半导体微纳制造技术及康复外骨骼机器人研究。主持国家自然科学基金、深圳市国际合作项目等20余项课题，获授权发明专利50项（含3项PCT国际专利）。主讲《光刻机技术》《异质异构集成技术》等本科及博士课程，获广东省教育教学成果奖二等奖、深圳大学教学成果奖一等奖。